非接觸式高精度激光測振儀可以通過顯微光學系統(tǒng)實現(xiàn)對微小物體的振動測量，可以精確測量MEMS等微小結構元器件的振動和形貌，激光光斑達微米量級，并可通過顯微成像系統(tǒng)實時觀察物體的振動狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。
高精度激光測振儀可以通過顯微光學系統(tǒng)實現(xiàn)對微小物體的振動測量，可以精確測量MEMS等微小結構元器件的振動和形貌，激光光斑達微米量級，并可通過顯微成像系統(tǒng)實時觀察物體的振動狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。
掃描式激光測振儀LV-SC400通過在單點激光測振儀前面加兩個掃描鏡，運動控制系統(tǒng)控制掃描鏡的偏轉角度，來實現(xiàn)X、Y方向上的掃描測振；配備攝像系統(tǒng)，可實現(xiàn)人機互動，配備軟件分析系統(tǒng)，可實現(xiàn)二維、三維動畫顯示及數(shù)據(jù)分析等。
