高精度激光測(cè)振儀
簡(jiǎn)要描述：高精度激光測(cè)振儀可以通過顯微光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)微小物體的振動(dòng)測(cè)量，可以精確測(cè)量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動(dòng)和形貌，激光光斑達(dá)微米量級(jí)，并可通過顯微成像系統(tǒng)實(shí)時(shí)觀察物體的振動(dòng)狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。
產(chǎn)品型號(hào)： LV-S01-M
所屬分類：掃描式激光測(cè)振儀
更新時(shí)間：2025-11-05
詳細(xì)說明：
一、工作原理：
高精度激光測(cè)振儀的核心是一臺(tái)高精密激光干涉儀和一臺(tái)信號(hào)處理器。高精密激光干涉儀內(nèi)的He-Ne激光器發(fā)出的偏振光（設(shè)頻率為F0）由分光鏡分成兩路，一路作為測(cè)量，一路用于參考。測(cè)量光通過聲光調(diào)制器具有一定頻移（F），再被聚焦到被測(cè)物體表面，物體振動(dòng)引起頻移（f =2v/λ）。系統(tǒng)收集反射光并與參考光匯聚在傳感器上，這樣兩束光在傳感器表面產(chǎn)生干涉，干涉信號(hào)的頻率為F+f，攜帶了被測(cè)物體的振動(dòng)信息，信號(hào)處理器將頻移信號(hào)轉(zhuǎn)換為速度和位移信號(hào)。
采用的是非接觸式的測(cè)量方法，具有出色的頻率和相位響應(yīng)，可準(zhǔn)確地對(duì)各種物體的振動(dòng)、位移、速度及加速度等進(jìn)行測(cè)量，在滿足高精度、高速測(cè)量需求的同時(shí)，還可以彌補(bǔ)接觸式測(cè)量無(wú)法測(cè)量的缺陷。它主要由干涉儀及振動(dòng)控制器兩部分組成，并被廣泛應(yīng)用于各高校/研究所以及各大工廠。
二、技術(shù)指標(biāo)：
三、激光測(cè)振儀采用非接觸式動(dòng)態(tài)干涉測(cè)量技術(shù)，在以下各方面有廣泛的應(yīng)用：
1、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)動(dòng)態(tài)測(cè)試；
2、汽車工業(yè)：發(fā)動(dòng)機(jī)、齒輪、制動(dòng)器、輪胎、排氣系統(tǒng)、車身等；
3、馬達(dá)回轉(zhuǎn)動(dòng)態(tài)精度測(cè)試；
4、機(jī)床動(dòng)態(tài)精度測(cè)試；
5、生命科學(xué)、醫(yī)學(xué)、動(dòng)物學(xué)研究；
6、橋梁、建筑振動(dòng)測(cè)試。
