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非接觸式高精度激光測(cè)振儀可以通過顯微光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)微小物體的振動(dòng)測(cè)量，可以精確測(cè)量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動(dòng)和形貌，激光光斑達(dá)微米量級(jí)，并可通過顯微成像系統(tǒng)實(shí)時(shí)觀察物體的振動(dòng)狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。
非接觸式測(cè)振儀是一款全新的集多功能于一身的非接觸式振動(dòng)測(cè)量?jī)x器，也是一款可視化顯微測(cè)量分析的理想工具。
非接觸式單點(diǎn)激光測(cè)振儀是一款全新的集多功能于一身的非接觸式振動(dòng)測(cè)量?jī)x器，也是一款可視化顯微測(cè)量分析的理想工具。它可以通過顯微光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)微小物體的振動(dòng)測(cè)量，可以精確測(cè)量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動(dòng)和形貌，激光光斑達(dá)微米量級(jí)，并可通過顯微成像系統(tǒng)實(shí)時(shí)觀察物體的振動(dòng)狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。
高精度激光測(cè)振儀可以通過顯微光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)微小物體的振動(dòng)測(cè)量，可以精確測(cè)量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動(dòng)和形貌，激光光斑達(dá)微米量級(jí)，并可通過顯微成像系統(tǒng)實(shí)時(shí)觀察物體的振動(dòng)狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。
非接觸式激光測(cè)振儀是一款全新的集多功能于一身的非接觸式振動(dòng)測(cè)量?jī)x器，也是一款可視化顯微測(cè)量分析的理想工具。它可以通過顯微光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)微小物體的振動(dòng)測(cè)量，可以精確測(cè)量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動(dòng)和形貌，激光光斑達(dá)微米量級(jí)，并可通過顯微成像系統(tǒng)實(shí)時(shí)觀察物體的振動(dòng)狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。
