一、環(huán)境控制

1. 潔凈度
   實(shí)驗(yàn)室潔凈度需≤Class 1000，避免塵埃顆粒附著在光學(xué)元件表面，導(dǎo)致光路散射或信號(hào)衰減。例如，在半導(dǎo)體封裝工藝中，塵?？赡芨蓴_激光反射路徑，影響測(cè)量精度。

2. 溫濕度

   • 溫度：保持23±1℃，避免熱膨脹導(dǎo)致光學(xué)元件形變或位移偏差。例如，高溫環(huán)境下，激光測(cè)振儀的光學(xué)探頭可能因熱膨脹而偏離焦點(diǎn)，影響測(cè)量穩(wěn)定性。
   • 濕度：控制在40%-60%，防止光學(xué)元件結(jié)露或腐蝕。潮濕環(huán)境可能加速金屬部件氧化，降低設(shè)備壽命。

3. 隔振措施
   將測(cè)振儀置于氣浮隔振臺(tái)，隔離地面振動(dòng)（如人員走動(dòng)、設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生的低頻振動(dòng)）。例如，在航空軸承振動(dòng)測(cè)試中，地面振動(dòng)可能掩蓋軸承的微小振動(dòng)信號(hào)，導(dǎo)致數(shù)據(jù)失真。

二、設(shè)備校準(zhǔn)與調(diào)試

1. 光路校準(zhǔn)
   • 聚焦位置：激光束需聚焦于被測(cè)物體振動(dòng)幅值最大處（如劈刀下方50μm）。若聚焦偏差過(guò)大，信號(hào)強(qiáng)度可能低于檢測(cè)閾值。
   • 實(shí)時(shí)監(jiān)控：集成顯微成像系統(tǒng)，確保光斑位置穩(wěn)定。例如，在超聲引線鍵合工藝中，光斑偏移可能導(dǎo)致測(cè)量值偏離真實(shí)振動(dòng)位移。
2. 反射率優(yōu)化
   • 對(duì)反光性不足的表面（如啞光金屬、復(fù)合材料），噴涂氧化鈦粉末或貼附1μm反射膜，提升激光反射率至>70%。例如，航空軸承表面若未處理，反射信號(hào)可能過(guò)弱，無(wú)法被有效檢測(cè)。
3. 波長(zhǎng)與靈敏度校準(zhǔn)
   • 使用標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)源（如壓電陶瓷激振器）對(duì)測(cè)振儀進(jìn)行靈敏度校準(zhǔn)，確保量程和相位精度滿足要求。例如，若未校準(zhǔn)，測(cè)振儀可能低估高頻振動(dòng)幅值，導(dǎo)致故障漏判。

三、操作規(guī)范

1. 測(cè)量模式選擇
   • 根據(jù)被測(cè)物體特性選擇單點(diǎn)或掃描模式：
     • 單點(diǎn)模式：適用于定位特定缺陷（如軸承外圈剝落點(diǎn)），通過(guò)高頻采樣（如1MHz）捕捉瞬態(tài)沖擊信號(hào)。
     • 掃描模式：通過(guò)激光束快速掃描表面，生成全域振動(dòng)云圖，識(shí)別局部異常振型（如滾動(dòng)體分布不均導(dǎo)致的周期性振動(dòng)）。
2. 參數(shù)設(shè)置
   • 同步觸發(fā)：通過(guò)TTL脈沖信號(hào)觸發(fā)測(cè)振儀，確保采集窗口覆蓋完整振動(dòng)周期（如120kHz振動(dòng)對(duì)應(yīng)8.3μs周期）。
   • 采樣率：≥5倍于最高頻率（如測(cè)量200kHz振動(dòng)時(shí)，采樣率需≥1MHz），搭配抗混疊濾波器（截止頻率500kHz）。
   • 信號(hào)增強(qiáng)：采用64-128次相干平均，抑制隨機(jī)噪聲（如拋光液流動(dòng)干擾）。
3. 安全距離與視線
   • 操作時(shí)與激光發(fā)射口保持安全距離，避免長(zhǎng)時(shí)間直接注視激光束。例如，Class 3R激光可能對(duì)眼睛造成性損傷。

四、安全防護(hù)

1. 激光安全
   • 佩戴防護(hù)眼鏡，防止激光直射眼睛。例如，在航空軸承測(cè)試中，高速旋轉(zhuǎn)的軸承可能反射激光，增加眼部受傷風(fēng)險(xiǎn)。
2. 防爆與防碎片
   • 高速軸承測(cè)試需配備防爆罩，防止碎片飛濺。例如，軸承失效時(shí)可能產(chǎn)生高速金屬碎片，對(duì)操作人員造成傷害。
3. 電氣安全
   • 使用穩(wěn)定電源和穩(wěn)壓器，確保電壓/電流符合設(shè)備要求。接地處理需符合國(guó)標(biāo)，防止電氣故障引發(fā)觸電或設(shè)備損壞。

五、維護(hù)與保養(yǎng)

1. 定期校準(zhǔn)
   • 每6-12個(gè)月進(jìn)行一次響應(yīng)校準(zhǔn)，防止波長(zhǎng)偏移影響測(cè)量結(jié)果。例如，長(zhǎng)期使用后，設(shè)備可能因元件老化導(dǎo)致測(cè)量誤差累積。
2. 清潔與檢查
   • 定期清潔光學(xué)元件（如鏡頭、光纖接口），防止灰塵或油污影響進(jìn)光效率。檢查電纜和接頭是否松動(dòng)，確保電氣連接穩(wěn)定。
3. 存儲(chǔ)條件
   • 長(zhǎng)期不使用時(shí)，將設(shè)備存放于干燥、防塵的環(huán)境中，避免光學(xué)元件受潮或腐蝕。